近日,企业标准领跑者管理信息平台发布榜单,市工商联副会长单位——浙江晶盛机电股份有限公司的企业标准《TDR系列单晶生长炉》(标准编号:Q/JSJ 01-2020)入选国家企业标准“领跑者”,这是全国半导体器件专用设备领域首个企业标准“领跑者”。

晶盛机电在“打造半导体材料装备领先企业,发展绿色智能高科技制造产业” 的使命引领下,15年来坚持自主研发和科技创新,技术不断迭代升级,突破卡脖子瓶颈,实现集成电路用大硅片设备国产化,并依托“国家级博士后科研工作站”“重点企业研究院”“浙江省晶体生长装备研究院”等研发平台,在行业前沿持续探索,实现了多项“零”的突破,全自动单晶硅生长炉被工业和信息化部评选为“第三批制造业单项冠军产品”。同时,公司不断自我突破,积极参与行业标准的制定,建立行业领先的企业标准,并在产品及服务中全流程、全周期贯彻实施,助推行业标准化进程。
此次入选的TDR系列单晶生长炉标准,在加热能力等4个基础指标、压升率等5个核心指标、工作真空度等2个创新性指标全面优于国行标要求,成为该行业首个企业标准“领跑者”,展现了单晶炉产品的核心竞争力,助力半导体产业高质量发展。